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  茨城大学の公開特許一覧
    「ナノテクノロジー・材料・計測」

茨城大学の公開特許一覧 「ナノテクノロジー・材料・計測」

2013年12月現在

 

発明の名称

出願/公開
登録番号

要 約

36

テラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析方法およびテラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析装置

特願2008-039555
特許第4817336号

試料の集合体構造を精密に測定する、テラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析方法およびその構造を得る。

73

半導体集積回路装置及びその製造方法

PCT/JP2009/070637  
再表WO2010/064732
特許第5366270号
韓国特許
第10‐1278235号 

エレクトロマイグレーション耐性の向上と低抵抗化を図る線幅70nm以下の銅配線を実現し、それを使用した半導体集積回路装置を提供する。 本発明は、線幅70nm以下の銅配線を昇温速度1~10K/secで加熱し、加熱直後の温度で所定時間恒温保持するアニール処理をする点に特徴がある。

74

光学式3次元形状計測装置及び光学式3次元形状計測方法

特願2009‐275592
特開2011-117832

鏡面などの光沢表面をもつ物体の光学式3次元形状測定を実現可能とするための光学式3次元形状計測装置及び光学式3次元形状計測方法を提供する

95

墨出し装置

特願2010-166492
特開2012-26894

筐体の水平載置が困難でも適正位置に二次元図形を投影可能な墨出し装置を提供する。

100

新規な含フッ素化合物、該含フッ素化合物の重合体の製造方法並びに該含フッ素化合物の重合体からなる光学素子、機能性薄膜及びレジスト膜

特願2010-197743
特開2012-51863

原料として入手が容易なオクタフルオロシクロペンテンからの合成が可能であり、且つフッ素含有量が多い新規な含フッ素化合物、並びに該含フッ素化合物をラジカル重合して得られ、透明性が高く、汎用溶媒に溶解できる新規な重合体の製造方法並びに該含フッ素化合物の重合体からなる光学素子、機能性薄膜及びレジスト膜を提供する。

111

金属層の結晶粒径及び粒径分布評価方法並びにそれを用いた半導体集積回路装置の製造方法

特願2011-22414
特開2012-163392

非破壊かつオンラインで金属層の結晶粒径及び粒径分布を評価する方法を実現する。

113

半導体集積回路装置用バリア材の探索方法及び該探索方法によって探索される半導体集積回路装置用バリア材

特願2011-30514
特開2012-169516

従来のルテニウムバリア材と同様に優れた銅拡散の抑制効果を有し、供給性の点で問題がなく、比較的低コストの金属又はその金属を含む金属間化合物からなる新規な半導体集積回路装置用バリア材の探索方法及び当該探索方法によって探索される半導体集積回路用バリア材を提供する。

116

球体の球径寸法測定方法及びその測定装置

特願2011-50094
特開2012-185120

コヒーレント光を用いて、被測定球体の球径を高精度で、且つ簡便な方法で短時間に測定できる球体の球径寸法測定方法及びその測定装置を提供する。

152

半導体集積回路装置及びその製造方法

特願2012-124608
特開2013-251380

配線層の一層の低抵抗率化を図るとともに、耐エレクトロマイグレーション性に優れる半導体集積回路装置とその製造方法を提供する。

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