茨城大学の公開特許一覧 「ナノテクノロジー・材料・計測」

2017年12月現在

 

発明の名称

1

テラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析方法およびテラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析装置

2

半導体集積回路装置及びその製造方法

3

光学式3次元形状計測装置及び光学式3次元形状計測方法

4

墨出し装置

5

新規な含フッ素化合物、該含フッ素化合物の重合体の製造方法並びに該含フッ素化合物の重合体からなる光学素子、機能性薄膜及びレジスト膜

6

金属層の結晶粒径及び粒径分布評価方法並びにそれを用いた半導体集積回路装置の製造方法

7

半導体集積回路装置用バリア材の探索方法及び当該探索方法によって探索される半導体集積回路装置用バリア材

8

球体の球径寸法測定方法及びその測定装置

9

半導体集積回路装置及びその製造方法

10

半導体集積回路装置及びその製造方法、並びに該半導体集積回路装置に使用する低抵抗率銅配線の探索方法

11

新規な含窒素複素環化合物、それよりなる電子輸送材料及びそれを含む有機発光素子と太陽電池

12

縮合多環芳香族骨格を有するポリマー及びそれを用いた発光素子及び電極

13

位相差干渉顕微装置

14

超低抵抗率銅配線を有する半導体集積回路装置

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